半导体

半导体工业中的紫外线技术–纯度、精度和工艺可靠性

在半导体制造过程中，对清洁度、精度和控制要求极高。即使是最小的污染也会损害复杂微结构的功能。紫外线技术在这方面发挥着核心作用，尤其是在准分子辐射表面处理和工艺用水消毒方面。

现代紫外线系统将纯度、效率和可持续性完美地结合在一起，是高科技半导体生产可靠性和质量的关键因素。

准分子紫外线技术可确保对晶片和基底进行精确的非接触式表面清洁和活化，从而提高附着力和工艺稳定性。基于紫外线的水消毒可提供无化学物质的微生物控制，可靠地消除半导体生产中的细菌、病毒和生物膜。

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